技术编号：3175812
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明是一种基于激光微加工的微型通道的制作技术，利用在调Q的NdYAG激光在石英基片上作微加工时伴随产生的激光诱导等离子体作为钻孔工具，在石英基片上制作微型通道。所制作的微型通道的直径从40微米至140微米可控制，截面基本上为圆形，管壁光滑(粗糙度优于0.2μm)，长度大于4mm。该微型通道可构成微型流体系统用于多种生物医学分析用途。背景技术 国际上有影响地报道关于用激光加工方法在透明材料上制作微型通道(或钻孔)大致分为两种方法，一是以H.Varel等为代...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。