技术编号:3175890
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及集成电路封装设备制造领域,尤其涉及一种空气静压电主轴和空气静压电主轴的冷却装置。背景技术目前,空气静压电主轴是一种常用的部件,其具备精度高、转速高、稳定性好、摩擦小、容易散热等优势,主要可以应用于切割机等设备中。在空气静压电主轴工作时,经过精密过滤的压缩空气会经过管道进入空气静压电主轴壳体的通道,之后流入轴承的节流小孔,然后流入轴承和转轴之间的间隙,形成一层压力气膜,将转轴浮起,这样,转轴就能够在空气压力的作用下稳定旋转。通常,采用了空气静压电主...
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