技术编号：3177511
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明有关于一种激光刻划装置及方法，且更特别关于用于太阳能板的激光刻划 装置及方法。背景技术众所周知，在薄膜半导体技术中，将太阳辐射转换成可用电能的光伏电池可籍由 在两个电极之间夹入某些半导体结构(例如非晶硅)而进行制造。电极中的一者通常为透 明的，以准许太阳辐穿透以到达半导体材料。此“前”电极可由透明导电氧化物材料(例如 氧化锡)薄膜(亦即，厚度小于10微米)组成，且通常形成于由玻璃或塑料制成的透明基 板与光伏半导体材料之间。“背”电极形成于半导体材料的...
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