一种渐隐式光刻工艺的制作方法技术资料下载

技术编号:31800324

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.本发明涉及光刻技术领域,具体涉及一种渐隐式光刻工艺。背景技术.铂金光刻技术是一种直观的防伪技术,其采用镭射浮雕制版工艺结合模压技术,制备出的铂金浮雕花纹具有立体感强、标识亮度好、精度等级高的优点,但现有的点阵光刻技术往往光斑点单一,图案不可变,导致光斑点无法有过多的变化。.目前由于技术受限,人们要选择工艺只能选择一种,要么普通光刻技术要么铂金光刻技术。想无缝结合两种技术的优势就变得十分困难,后来经过技术设计改良,将两套光刻系统引入同一个坐标系统来实现。发明内容.为了克服现有技术中存在的...
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