技术编号：31814290
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。.本实用新型涉及镀膜加工技术，具体涉及一种速率可控的电子束蒸发源。背景技术.在真空镀膜设备中, 电子束蒸发源虽远较电阻加热式蒸发源复杂, 但因其能蒸镀难熔材料, 膜层纯度高, 而优于电阻加热蒸发源。电子束加热的蒸镀源有直枪型电子枪和e型电子枪两种、由电子发射源、电子加速电源、坩埚、磁场线圈、冷却水套等组成。膜料放入水冷坩埚中，电子束自源发出，用磁场线圈使电子束聚焦和偏转，对膜料进行轰击和加热。.现有的电子束蒸发源在进行使用时，坩埚固定不够稳固，内部的物质会洒出，造成浪费，且坩埚固定不够稳固...
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