技术编号：3183018
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。一种准分子激光微加工系统的光路调节架主要用于准分子掩膜微加工系统的光 路系统工作支撑和竖直光路调整，属于微纳米科学与。背景技术准分子是由化学活性最稳定的惰性元素Ar、Kr、Xe和化学性质最活泼的元素F、 Cl、Br的两个同核或异核原子在激发态的复合物。与通常的分子不同，准分子是束缚在电 子激发态下的分子，它没有稳定的基态，即准分子是一种只在激发态才能暂时存在的不稳 定分子，在基态情况下它会迅速离解成其他分子团，因此准分子的寿命很短，它的上能级寿 命只有10...
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