带入口保护的MEMS麦克风的制作方法技术资料下载

技术编号:31832893

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带入口保护的mems麦克风.相关申请的交叉引用.本申请是非临时申请,要求年月日递交的题为“具有入口保护的mems麦克风”并通过引用其整体并入本文的美国临时申请序列号/,的优先权。技术领域.本说明书大体上涉及微机电系统(mems)麦克风,并且更具体地涉及具有入口保护的mems麦克风组件。背景技术.通常,将mems技术应用于麦克风中导致开发出具有非常高性能的小型麦克风。例如,mems麦克风通常提供高信噪比(snr)、相对较低的功耗和良好的灵敏度。然而,典型的me...
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