技术编号:31845349
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。.本发明涉及基板移送装置及基板移送装置的水分流入防止方法。背景技术.为了稳定地执行诸如液晶显示器、等离子体显示器或有机发光元件显示器等的平板显示器的制造工艺流程,经常使用通过静电卡盘固定基板或晶片的方法。.静电卡盘利用静电力将基板等固定到下部电极上。静电卡盘包括在一个电极与基板之间生成电位差以吸附基板的单极(unipolar)型和在两个以上的电极之间产生电位差以吸附基板的双极(bipolar)型。.静电卡盘为陶瓷材质,在制作时其内部存在气孔。在静电卡盘暴露在大气状态的情况下,外部空气可通...
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