技术编号:3184750
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及超精密定位、抑振装置,是一种基于压电驱动器的二维超精密定位、抑振微动工作平台。背景技术高精度和高分辨率的精密微动工作台系统在近代尖端工业生产和科学研究领域内占有极其重要的地位。它是直接影响精密、超精密切削加工水平、精密测量水平及超大规模集成电路生产水平的关键环节。从七十年代后期起,微电子技术向大规模集成电路(LSI)和超大规模集成电路(VLSI)方向发展,随着集成度的提高,线条越来越微细化,目前CPU的线宽已缩小到0.13um,对与之相应的工...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。