技术编号:3196069
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及观察光学系统及激光加工设备,特别涉及能够良好地观察对象物的定位用的标记和浓淡图案的观察光学系统及激光加工设备。背景技术以往,使用明视场光学系统,作为在观察设置于基板等对象物的定位用的对准标记时使用的观察光学系统。但是,如果是以往的明视场光学系统,有时来自对象物的反射光中包含的对准标记的信号光与其他的噪声光相比小,只能以较低的对比度观察对准标记。因此,有时使用能够以高对比度观察对准标记的暗视场光学系统(例如,參照专利文献I)。专利文献I 日本特开平...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。