技术编号:3196879
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及微细精密加工和检测领域,尤其涉及。背景技术随着机械和电子技术的不断发展,越来越多的机械或者冷却装置上需要加工出微细的流道,譬如微通道或者微射流结构以及微通道或者微射流阵列结构,主要采用特征尺寸在0. 5mm下的微孔或者微槽,这样的微细流道的加工质量尤其是出口的加工质量往往决定着加工和使用效果的好坏。采用精密机械加工(钻削或者铣削等)、电加工、化学腐蚀加工或者激光加工微细流道,一般往往难以克服的一个问题是必然产生小的残留碎屑,随着加工伴随产生,这些...
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