技术编号:3196901
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明是有关于一种气体扩散板及其制造方法,特别是关于一种。背景技术参阅图1,现有气体扩散板2是设置于一镀膜设备I的设置板11上,并包括一用以设置于该设置板11上的板体21、一由该板体21围绕界定的气室22,以及多个形成于该板体21上并使该气室22连通于外界的贯穿孔23。在实际使用时,该镀膜设备I包括一与现有气体扩散板2间隔设置的加热座12,并将一待镀物13放置于该加热座12上,接着将气体输送入该气室22内,并藉由贯穿孔23使气体分散输出,进而使气体受热之后...
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