技术编号:3197506
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种,特别适用于高精密激光加工设备上有光学移动部件的光路。背景技术在高精密激光加工过程中,被加工材料气化或熔化都会产生粉尘,虽然激光加工设备都有除尘机构,但仍有少量粉尘进入光路,日积月累,轻则引起能量损失,加工质量达不到要求,重则烧坏光路元件甚至激光器。所以,经常将光路封闭起来。以往常用的光路封闭元件是弹性波纹管,密封效果较差,寿命短,特别是伸缩比小,一般不足1.5,就不能满足光路中有移动元件的情况。本专利发明一种带空气过滤装置的伸缩管防尘机构,...
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