技术编号:3198253
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型属于机械领域,涉及一种对片式电阻、片式电容激光生产设备的改进。目前国内外使用的片式电阻、片式电容激光生产设备,多数是日本的NEC公司、美国的GSI公司、美国的EXI公司生产的几种产品。与本实用新型相近的是美国GSI公司生产的一种机型。该机型光学系统呈垂直方向分布,光学系统整体高度大,同时其零、部件结构复杂、不便加工、调整;监视成像系统采用特殊设计,制造成本高;另外该系统光学系统平台与机架之间采用固定连接方式,不便进行焦点调节。本实用新型的目的在于...
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