技术编号:3199306
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及仪器仪表(分析仪器)领域,特别是一种在电子显微镜的钥薄片上成型微孔的方法。背景技术场发射电子显微镜的电子枪是一个微小的高亮度电子源,由涂有氧化锆(ZrO)的钨单晶(W (100))肖特基发射阴极或者冷场发射阴极、抑制极、吸出极、聚焦极和阳极等组成,其作用是为整个系统提供稳定的电子源。当处于真空中的阴极钨丝尖端表面受到IO8V/ cm大小的电子加速电场作用时,钨尖端表面就会发射出数量可观的电子,此过程称为场发射。场发射的原理是高电场使电子的势垒产生...
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