技术编号：32029259
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。.本发明属于气相沉积设备技术领域，尤其涉及一种真空保障及尾气处理集成系统及其使用方法。背景技术.沉积设备工作时，需要对炉体排出的酸性尾气进行处理。.现有技术中，采用碱液喷淋装置对尾气进行处理，该方案为相对比较粗犷的尾气处理方案，不能保证排出的尾气满足环保的要求。发明内容.(一)要解决的技术问题.基于此，本发明提出了一种真空保障及尾气处理集成系统及其使用方法，该发明旨在解决现有技术中的采用碱液喷淋装置对尾气进行处理方案存在尾气处理效果不佳的技术问题。.(二)技术方案.为解决上述技术问...
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