技术编号:32078060
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。.本实用新型涉及超声清洗装置技术领域,尤其涉及一种适用于干刻工艺的不锈钢部件超声清洗装置。背景技术.不锈钢部件应用于制造ic(集成电路)的干刻中的工艺腔体中,干刻工艺是将特定气体置于低压状态下施以电压,将其激发成plasma,对特定膜层加以化学刻蚀和等离子轰击,达到去膜的一种去膜刻蚀方式。.刻蚀后的膜层残留会附着在不锈钢部件表面,过后的沉积层会影响工艺的正常使用,故需进行清洗维护,一般清洗时需要经过多重清洗步骤:高压冲洗、酸洗、水洗、高压冲洗、超声清洗、检测、烘干等步骤。.超声清洗时,一...
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