技术编号:3209891
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种特种加工领域内对非导电脆性材料进行微细加工的装置与方法,尤其涉及一种。背景技术近年来,非导电脆性材料,例如,各种玻璃、陶瓷等都得到了广泛的应用,玻璃材料具有耐化学腐蚀、透明、低导电率和良好的生物相容性等特征,从而被应用在微加速器、微反应器、微型泵、医疗器械和光学系统中;而陶瓷材料具有高强度、高硬度、耐高温、耐磨损、抗腐蚀、绝缘性好等优异性能,在机械电子、航空航天、化工机械、陶瓷发动机、生物陶瓷 和精密仪表等领域日益显示出广泛的应用前景,对非...
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