技术编号:3214165
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及纳米测量和纳米定位,特别是一种大行程纳米级步距压电微动工作平台。适用于纳米,特别是纳米机械加工、纳米测量、电子器件生产、微型机电系统、纳米材料、生物医学等领域。背景技术 微驱动、定位技术是当今世界各国研究的热点问题,是纳米测量及加工技术中的关键技术之一,无论是纳米测量还是纳米定位,都需要有一个微驱动系统。微驱动器的性能好坏,直接影响到测量或定位的精度。所谓微驱动器指的是能产生微驱动作用的器件和装置。微驱动器是微驱动、定位系统中的重要组成部分。国内...
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