技术编号:3215815
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及一种同轴宏微复合直线运动平台装置。背景技术宏微复合运动平台可用于超精密加工的进给系统中。宏运动平台实现大行程毫米或微米级的进给,微运动平台实现小行程微米或纳米级进给。宏微运动复合可加工精密光学元件的非轴对称表面,可重复加工具有复杂形状的各种异形元件,例如自由曲面透镜/镜面、微镜阵列、微沟槽阵列等。一般的宏微复合运动平台是在宏运动平台的基础上,安装快刀伺服器等典型或专 用的小型微运动平台,这种微运动平台无法用于承载一定的负荷或开展宏微复合平台的...
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