技术编号:32192838
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。.本实用新型涉及气体净化设备技术领域,具体而言,涉及一种反应器及废气处理设备。背景技术.在一些设备或材料(例如半导体)制造的过程中会产生一些对人类及环境有害的气体,这些气体需要通过处理设备使其变成无害气体排放到大气环境中。现有的处理有害气体的设备通过在反应腔中燃烧加热,以使高温的废气加热分解。在加热处理废气的过程中,由于反应腔内部的高温使得反应腔外壁也处于高温状态,会对于整个设备以及维护人员造成威胁甚至伤害。.现有的处理设备通常在反应腔的外部设置一层水冷壁,通过冷却水带走反应腔的热量。然而...
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