技术编号：3224342
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种激光加工方法和加工设备，特别是涉及一种利用激光在光敏性材料中制备具有多重周期性微结构的方法及系统。背景技术 周期性微结构在半导体微电子领域、高密度信息存储领域、光电子器件领域等信息得到了广泛的应用。特别是在新型光子学器件领域，周期性微结构的应用受到了广泛的关注。其中以光子晶体为代表的利用周期性微结构对光进行调制的研究与开发工作在世界各国广泛地开展。以半导体超晶格为代表的多重周期性微结构已经在光电子领域被广泛研究。但是在利用光子晶体原理、即以光...
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