电化学加工方法、工具组件和监测方法技术资料下载

技术编号:3224599

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本发明通常涉及电化学加工,尤其涉及在电化学加工操作过程中监测电极间缝隙的尺寸和工件厚度。背景技术 电化学加工(ECM)是使用一个或多个导电工具电加工导电工件的一种常用方法。在加工过程中,相对于工件设置工具以便在它们之间形成一条缝隙。缝隙中充满了经过加压的、可流动的水状电解质,例如硝酸钠水溶液。在工具和工件之间形成一直流电位,借此可控制地除去导电工件的镀层。这一除去镀层的行为发生在一由带负电荷的电极(阴极)和带正电荷的电极(阳极)形成的电解槽内,其中所述阴极...
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