技术编号:3225124
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及一种超短脉冲激光制作金属薄膜群孔的装置,属于激光微加工。背景技术目前群孔制作方法有电子束打孔、电火花腐蚀打孔、电化学打孔、螺旋状打孔和超声波打孔。电子束打孔加工材料固定为金属材料,加工装置只能在真空中进行,否则电子在与原子进行碰撞时被制动,然后发生转向。电火花腐蚀打孔方法加工材料只能为导电材料, 打孔速度较慢,整体加工费用较高。电化学打孔的装置需要在液态电解液中加工,但是加工工序复杂繁琐,制作孔的周期较长。螺旋状打孔通过切削方式去除材料,但是...
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