技术编号:32312751
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。.本发明涉及太阳能电池技术领域,具体而言,涉及一种面向选择性接触的叠层结构、电池正面结构及制备方法。背景技术.年,德国fraunhofer研究所首先提出隧穿氧化硅钝化接触结构(topcon)用于改善晶硅太阳能电池背面的钝化,提升电池性能。该结构使用n型硅片,于硅片背面制备纳米siox作为隧穿层,随后在siox上利用pecvd等方法沉积一层重掺杂多晶硅,最后背面制备全面积金属电极。由于多晶硅在短波长范围内会产生较强的寄生光吸收,该结构主要应用于电池背面。利用隧穿氧化层钝化接触结构制备的...
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