掩膜装置及其控制方法、镀膜设备与流程技术资料下载

技术编号:32351428

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.本申请涉及镀膜设备技术领域,尤其涉及一种掩膜装置及其控制方法、镀膜设备。背景技术.节能减排是汽车产业可持续发展的关键,电动车辆由于其节能环保的优势成为汽车产业可持续发展的重要组成部分。对于电动车辆而言,电池技术又是关乎其发展的一项重要因素。在动力电池中,电池单体的电芯的极片可以通过镀膜的工艺形成,也即在基材上通过镀膜的工艺镀上镀膜材料。在镀膜过程中,镀膜材料在基材上形成的膜层的厚度可能不均匀,导致生产的极片品质不高。发明内容.本申请实施方式提供了一种掩膜装置及其控制方法、镀膜设备,能够解...
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