技术编号：32351698
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。.本发明涉及一种感光性树脂组合物、图案固化膜的制造方法、图案固化膜及半导体元件。背景技术.近年来，随着半导体元件的高集成化和小型化，要求半导体元件的表面保护层及层间绝缘层具有耐热性、机械特性、与金属铜布线的密合性等。作为用于形成同时具有这种特性的绝缘层的材料，开发有含有碱可溶性树脂的感光性树脂组合物(例如，参考专利文献～专利文献。)。在将这些感光性树脂组合物涂布于基板上并进行干燥而形成树脂膜，并且对该树脂膜进行曝光及显影，从而获得图案树脂膜(形成有图案的树脂膜)。然后，通过对上述图案树脂...
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