技术编号:3241333
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及一种激光加工设备,具体涉及一种具有双光学头的激光并行加工的光刻系统。背景技术随着激光加工技术的不断更新,激光加工的幅面大小和速度也越来越受到重视。在早些时候光刻设备采用的驱动装置多为步进电机,步进电机的控制为开环控制,启动频率过高或负载过大易出现丢步或堵转的现象,停止时转速过高易出现过冲的现象,因而控制精度较差。随着精度的要求越来越高,步进电机逐步被伺服电机取代,伺服电机相比步进电机,精度高,速度较快。然而,采用伺服电机驱动直线运动时,通常采...
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