技术编号：32420607
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。.本实用新型涉及硅片脱胶技术领域，特别是涉及一种脱胶架及脱胶机。背景技术.目前，在硅片的生产制造过程中，其中一个工序便是将硅棒沿垂直于轴线方向切割形成若干个薄片状的硅片。在切片工艺中，首先需将粘胶板粘接在晶托上，然后将硅棒的一个侧面粘接在粘胶板上，以此通过晶托将硅棒固定在切片机机舱内，对硅棒进行切割。切割形成的硅片紧密排列在一起并保持与粘胶板的粘连状态。因此，需要使用脱胶架这种工装对硅片进行脱胶，以使粘胶板与硅片分离。.现有的脱胶架通过底部水平安装的底杆对硅片起到支撑作用，当脱胶架用于对不...
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