技术编号:32444865
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。.本实用新型涉及传感器领域,特别涉及一种具有片上温度补偿的双谐振器。背景技术.目前mems谐振式压力传感器在电子器件领域应用非常广泛,它具有较高的精度和较强的抗干扰能力,硅上的谐振式压力传感器还具有体积小,功耗低等优点,通过设计双谐振器,通过频率温度补偿调整谐振器固有频率,提高压力传感器的输出精度。实用新型内容.本实用新型的目的是为了实现不仅可以应用于mems谐振式压力传感器,也可以应用于定时谐振器,过滤器,陀螺仪,谐振式化学传感器等领域,特提供了一种具有片上温度补偿的双谐振器。.本实用...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。
该类技术注重原理思路,无完整电路图,适合研究学习。