技术编号:3244525
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种控制研磨厚度的研磨装置,特别涉及一种利用一感应器检测被研磨物的研磨厚度数据,并利用被研磨物的研磨厚度数据控制被研磨物的研磨厚度的研磨装置。背景技术 图1a与图1b是现有技术中控制研磨厚度的研磨装置100的结构图。本发明的研磨装置100具有一固定盘102以及一研磨盘104。固定盘102设置一吸附装置,用以吸附一被研磨物106。研磨装置100另具有一汽缸108以及一摆臂110。汽缸具有一伸缩柱115,连接至固定盘102,以压附被研磨物106至研磨...
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