技术编号:3245307
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种在由热塑性材料制成的容器内表面沉积涂层的装置, 在这类装置中沉积是由低压等离子体来完成的,该等离子体由微波类电磁 波激发前体气体在容器中产生,在这类装置中容器被置于由导电材料制作 的腔体中,微波被引入该腔体,该装置包括a)电磁波发生器;b)电磁 波导,用来将发生器连接到腔体的侧壁上的窗口上,使得在该腔体中形成 至少一个中心区;c)用来注射前体气体的设备;d)用来抽吸腔体和容器内部容积的设备;以及e)内部壳体,与腔体同轴并基本上透过电磁波, 该...
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