技术编号：3245422
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。可获得均匀电场的大面积VHF-PECVD反应室异形电极本发明涉及硅薄膜太阳电池和平板显示领域中的薄膜晶体管矩阵的技术领 域，特别是一种可获得均匀电场的大面积VHF-PECVD反应室异形电极。背景技术近年来已有报道证明，应用甚高频(VHF)技术到PECVD的方法可以增加薄膜 的沉积速率，并且研究结果表明VHF-PECVD完全适合微晶硅薄膜和非晶硅薄膜 的高速沉积。然而，VHF-PECVD的应用研究通常是在小尺寸PECVD反应室中进行的， 因而并不能直接应用于...
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