技术编号：3245478
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及抛光机领域，尤其是一种超精密抛光机(或称研磨机)。技术背景传统的研磨、抛光机在加工工件的过程中，是无法在线修整抛光 盘(研磨盘)的平面精度的，随着加工过程的不断进行，抛光盘的平面精度会越来越差，采用离线式修整平面精度；目前的抛光机(研磨 机)都是非智能化或者是半智能化的，对抛光盘的转速和位置都无法 精确的进行智能化控制，因而很难保证工件在加工过程中获得极高的 平面精度，也很难在较短的时间内获得高的表面质量。存在的缺点 1、无法实现在线修整抛光盘的...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。