技术编号：3245648
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明的实施例一般涉及一种用于加工大面积基板的装置和方法。更特别 地，本发明的实施例涉及一种用于在半导体加工中支撑大面积基板的基板支架 和 一种制备这种支架的方法。背景技术用于加工大面积基板的设备已经成为包括液晶显示器(LCD)和等离子体 显示面板(PDP)、有机发光显示器(OLED)和太阳能电池板的平板显示器 的制备中的重要投资。用于制造LCD、 PDP、 OLED或太阳能电池板的大面积 基板可以是玻璃或聚合物工件。大面积基板通常经历多个顺序工艺以在其上...
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