技术编号:3245654
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种导电薄膜的制备方法,尤其涉及一种氧化锌铝透明导电薄 膜的制备方法,本发明还涉及实现上述制备方法的专用设备,属于镀膜领域。背景技术随着光电产业的发展,不断有新材料被发展出来,对于各类新产品的要求 除了符合轻、薄、短、小、高效率及美观外,也要符合其光、电、磁与热之功 能性需求外,若能具备高强度、高韧性、耐磨耗、耐高温及防腐等特性,能够 成为更具有竟争优势的产品。因此将产品表面调质处理之高性能镀膜技术便可达成此一要求;其中透明 导电膜即是近年来电子...
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