技术编号:3245657
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及带状基底镀覆装置,其中基底能在运动方向上相对蒸发器 组运动,蒸发器组具有可被加热的多个蒸发舟,所述多个蒸发舟相互紧邻地 布置在蒸发器组中,蒸发舟的纵轴线相对运动方向成一个角度,该角度的绝对值介于1°至89。范围,带状基底镀覆装置具有用于输送待蒸发线材至蒸 发舟的装置。本发明还涉及带状基底涂覆装置的配置方法。背景技术为了在带状基底(基材)上镀覆金属,众所周知地采用形成蒸发器组的 镀覆源。镀覆源通常呈长条形,因此被称为蒸发舟。蒸发材料且优选是铝 通过...
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