技术编号:3245905
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种红外光学材料一单晶硅非球面光学零件的高效抛光方法。 背景技术目前普遍采用单点金刚石车床来加工红外非球面光学零件,这种方法实现 了抛光过程的数控化、精量化,在一定程度上提高了生产效率。但是该工艺也 存在一定缺陷1、不能加工所有的红外材料。对于单晶硅等因为硬度较大,无 法加工;2、单点金刚石车床价格十分昂贵, 一般每台在几百万到上千万元,过 高的加工成本限制了这种工艺的广泛推广;3、最为重要的是,加工的表面光洁 度低,存在明显的刀痕,只能通过手修...
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