技术编号：32459399
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。一种用于mcz法拉制重掺锑单晶的加掺装置技术领域.本实用新型涉及硅单晶制备技术领域，具体为一种用于mcz法拉制重掺锑单晶的加掺装置。背景技术.硅单晶制备，就是要实现由多晶到单晶的转变，即原子由液相的随机排列直接转变为有序阵列，由不对称结构转变为对称结构，但这种转变不是整体效应，而是通过固液界面的移动而逐渐完成的。为实现上述转化过程，多晶硅就要经过由固态到熔融态，然后又由熔融态硅到固态晶品体硅的转变。这就是从熔体硅中生长单品硅所遵循的途径。.从熔体中生长硅单晶的方法，目前应用最广泛的主要有两...
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