技术编号:3246233
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种制备薄膜的设备,尤其涉及一种使用甩胶喷雾热分解的 方法制备薄膜的设备。背景技术薄膜制备的方法有很多种,如溶胶凝胶法、化学气相沉积、金属有机盐沉 积等化学方法,还包括液相外延、溅射、蒸发等物理方法,现在还常采用一 种喷雾热分解法来制备薄膜,这种方法使用图1所示的设备,用这种方法制备薄膜时,将配制好的溶液经压缩空气雾化器A4雾化后,在载流气体的带动 下,通过喷嘴Al喷进放置有被加热基板A2的容器中,使雾化体经电热丝A3 烘烤后挥发去溶剂并一步分解...
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