技术编号:3247070
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及一种真空设备,尤其涉及一种高效节能的真空设备。技术背景当前普通的真空镀膜生产线上的真空设备,如图la和图lb所示,所述真 空设备包括真空室2a、真空室室盖la、翻板阀门组件3a及^"抽阀门组件4a, 所述真空室室盖la的底壁lb是平的,所述真空室室盖la盖于所述真空室2a 上,所述翻板阀门组件3a安装于所述真空室2a内,所述精抽阀门组件4a安 装于所述真空室2a侧面上。因真空室2a里面设置有翻板阀门组件3a,侧面 有精抽阀门4a,对所述翻板阀...
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