技术编号:3248402
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型属于真空电子设备领域,特别涉及一种用于电真空器件制造 过程中的三极溅射离子泵结构。技术背景在电真空器件的制造过程中,为维持真空电子器件在储存和工作中必要 的真空度常使用各种吸气剂和钛泵。它们不仅吸收电子器件内的残余气体, 而且也吸收器件内零部件逐步放出的气体。在电真空器件从排气台上封离下 来后,就要让钛泵工作,将专用的钛泵电源引出线接入钛泵各电极,即可使钛泵抽气。在电真空器件中使用的钛泵多数为二极型溅射离子泵,它是由两块阴极 板,通常是钛板, 一...
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