技术编号:3249221
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明大体上涉及用于在多个基底上沉积多层材料结构的设备。 更具体地说,本发明涉及多层光伏器件的高吞吐量生产,光伏器件在 多个连续腹板上包括硅,连续腹板同时被输送穿过一个或多个等离子 体增强型化学气相沉积室。背景技术光伏器件是一个已确立的研究与开发区域,并持续吸引着很大的 注意力。光伏器件的一个重要的应用是太阳能。能够有效地将太阳光 转换成电能的器件提供了利用无限且大部分尚未被利用的自然能源 以满足社会需要的前景。太阳能器件的成功普及将大大降低世界对化 石燃...
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