真空成膜装置以及真空成膜方法技术资料下载

技术编号:3249448

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本发明涉及,更详细地说,涉及利用真空成膜装 置改善在基板上堆积的反射膜的特性的技术。背景技术随着光磁盘等记录媒体和灯的反射器等光学零件的高性能化,对这些作为基本功 能膜的反射膜的要求也严格起来了。因此,希望开发研究出反射率高,耐受不良的环 境条件的性能优异的经济上合适的产品。虽然作为反射膜材料的银(Ag),是在可见光区域反射率最高的材料,但是存在 着在高温、高湿度的环境条件下变黄、变白混浊,由于环境条件劣化造成反射率下降 的缺点。作为应对该缺点的对策,在银...
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