技术编号:3249630
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及工、模具涂层,具体涉及,TiCN系列纳米梯度复合多层涂层具体是TiN/Ti (C,hx) /Ti (CN)梯度纳米复合多层涂层。背景技术先进制造行业的需求对工、模具表面涂层技术提出了严苛的要求高硬度、高耐磨性、高精密度、高生产效率、环保等。自上世纪七十年代在工具领域采用化学气相沉积(CVD)制备TiN以来,研究结果表明TiN中的部分N原子可以被C原子取代,形成晶体结构相似的TiC,卜x组分(其中,X = 0-1),随着含碳量增加,硬度相应提高。从...
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