技术编号：3250790
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及薄膜技术及纳米结构材料的制备装置中的重要部件，具体的说涉及一种用于纳米粒子束流源的复合型分离器。背景技术 气体动力学喷嘴/分离器是原子束、分子束、团簇束流以及纳米粒子束流的产生装置中的重要部件，在原子分子物理与纳米科学的基础研究与薄膜及纳米结构材料的制备、材料的表面加工等方面具有广泛应用。基于气相聚集法的团簇束流和纳米粒子束流源中，通常使用如图1所示结构的分离器。这种分离器往往也起了喷嘴的作用。通过这种喷嘴/分离器将冷凝腔与高真空腔隔离，在冷凝腔...
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