技术编号:3250812
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种热丝法生长金刚石膜的设备,特别涉及稳定生长大面积金刚石厚膜的热丝阵列电极装置。背景技术 金刚石膜工具已开发了多年,沉积金刚石膜的方法很多,通常有微波等离子体化学气相沉积法、直流等离子体喷射法和热丝法,其中因为热丝法设备简单、操作方便、可制备大面积膜、生长速度适中而备受关注。美国专利US5997650公开了如下一种方案给热丝阵列提供电能的电极系统为一个固定电极和一个可随的热丝长度变化而沿热丝轴向移动的移动电极,拉动移动电极的拉力由弹簧来提供,有...
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