技术编号:3251372
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种用于抛光例如晶片的工件的抛光设备。背景技术 已知有许多类型的抛光设备。一普通的抛光设备具有一抛光板,该抛光板的上表面覆盖有抛光布;一顶环,该顶环具有用于固定一工件并将该工件的下表面压在抛光布上的一下表面。抛光板和顶环相对运动从而抛光工件的下表面。通常,工件由机械手臂搬运到传送单元,传送单元将工件置于中心,顶环移到传送单元以接收工件。一具有传送单元的传统抛光设备在日本专利公报11-347922中有所揭示。该传送单元包括一推进台,该推进台具有一支...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。