技术编号：3251723
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明关于一种蒸镀设备的运送装置，特别是关于一种可防止被蒸镀的 基板在运送过程中遭到污染的运送装置。背景技术现有的蒸镀设备，如图1所示，主要包括一腔体IO、 一发射源20以及 一机械手臂30。腔体10为一密闭的空间，可由真空泵(未图示)抽至真空或所希望的 压力。发射源20通常设于腔体10的底部，其中放置有蒸镀材料，蒸镀材料可 以是有机材料(小分子及聚合物)，也可以是无机材料(金属、陶瓷或半导 体)。在发射源20中设有加热器(未图示)，借由加热器的加热，可使...
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