技术编号:3252010
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及用于沉积有机层的装置以及用于控制该装置的加热源的方法。更具体地说,本发明致力于用于沉积有机层的装置,其能够通过使稳定沉积速率所需的时间最少来提高沉积效率、防止喷嘴的凝结、并且控制温度。背景技术 总体而言,使用沉积装置将薄膜沉积在各种电子部件上。特别是,使用此沉积装置在诸如半导体、LCD、有机电致发光显示器等电子设备和显示器上形成薄膜。有机电致发光显示器是一种电致发光显示器,其从电子注入电极(阴极)和空穴注入电极(阳极)将电子和空穴分别注入发光层。...
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